ÀÌÈÄ, 21¼¼±âÇü ¹ÝµµÃ¼¿¡ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹è¼±Àç·á, À¯ÀüüÀç·á, È®»ê¹æÁö¸· ¹× Á¢Âø¸· ÁõÂø¿ë Precursor µîÀÇ ±¹»êÈ­ °³¹ß¿¡ ¼º°øÇÔÀº ¹°·Ð, ´Ù¼öÀÇ ±¹³»¿Ü ƯÇã±ÇÀ» ȹµæÇÏ¿´½À´Ï´Ù.
¿Üȯ À§±â°¡ ÇÑâÀÌ´ø 1998³â 10¿ù, ÀÌ·¯ÇÑ ±â¼ú·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¹Ì±¹À¸·ÎºÎÅÍ °Å¾×ÀÇ ¿ÜÈ­ ÅõÀÚ À¯Ä¡¸¦ ¹Þ°Ô µÇ¾úÀ¸¸ç, º¥Ã³±â¾÷ ÀÎÁõ, ´Ù¼öÀÇ ¿ì¼ö±â¾÷ ǥâ, 2006³â¿¡´Â 3õ¸¸ºÒ ¼öÃâž°ú öž»ê¾÷ ÈÆÀåÀ» ¼öÈÆÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
2000³â 3¿ù, ÃÊ°í¼øµµ È­ÇÕ¹° Á¦Á¶¸¦ À§ÇÑ ÆòÅà Á¦1°øÀåÀ» ÁØ°øÇÏ¿© º»°ÝÀûÀÎ ¾ç»êüÁ¦¿¡ µ¹ÀÔÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó , 2005³â 12¿ù¿¡´Â °í°´ÀÇ ¿ä±¸º¸´Ù ÇÑ¹ß ¾Õ¼± Ç°ÁúÀÇ Á¦Ç°°ú ¼­ºñ½º¸¦ Á¦°øÇϱâ À§ÇØ, ÃÖ÷´Ü »ý»ê ¼³ºñ¸¦ ÆòÅà Á¦ 2°øÀå¿¡ ÁØ°øÇÏ¿© ÃÖ°íÀÇ Á¦Ç°À» ÃÖÀûÀÇ ½Ã°£¿¡ ÃÖ»óÀÇ ¼­ºñ½º·Î °ø±ÞÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
ÇöÀç À¯ÇÇÄɹÌÄ®Àº TMA,TEMAH,TEMAZr,MPA ¹× TiCl₄ µîÀÇ ´Ù¼ö Á¦Ç°À» ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼ ¾ç»ê ¶óÀο¡ °ø±ÞÇÏ°íÀÖ½À´Ï´Ù. À¯ÇÇÄɹÌÄ®ÀÇ Think Tank ¶ó ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ºÎ¼³¿¬±¸¼Ò¿¡¼­´Â ¼®¹Ú»ç ±ÞÀÇ ¿ì¼ö¿¬±¸ÀηÂÀÌ ¿À´Ãµµ ¶Ç ´Ù¸¥ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼¿ë Precursor È­ÇÕ¹° °³¹ßÀ» À§ÇÑ ¿¬±¸¿¡ ¸ÅÁøÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
ºûÀÇ ¼Óµµ·Î ÁøÈ­ÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°èÀÇ Ä¡¿­ÇÔ ¼Ó¿¡¼­µµ µ¶ÀÚÀûÀÎ ±â¼ú·Î źźÇÑ ¼ºÀå°ÅÁ¡À» ¸¶·ÃÇÑ À¯ÇÇÄɹÌÄ®Àº ¡®Ç×»ó ÃÖ°í¿¡ ¼±´Ù¡¯ ´Â ¹ÏÀ½À¸·Î ¾ÕÀ¸·Îµµ ´õ¿í ¶Ù¾î³­ Ç°ÁúÀÇ ALD/CVD¿ë Precursor È­ÇÕ¹°À» °³¹ßÇÏ°í °ø±ÞÇÏ´Â µ¥ ÃÖ¼±ÀÇ ³ë·ÂÀ» °æÁÖÇÒ °ÍÀÔ´Ï´Ù.